A เครื่องทำความเย็นเป็นอุปกรณ์ทำน้ำหล่อเย็นที่สามารถให้แรงดันคงที่ อุณหภูมิคงที่ และการไหลคงที่ โดยการฉีดน้ำในปริมาณที่เหมาะสมลงในถังเก็บน้ำ ระบายความร้อนของน้ำผ่านระบบทำความเย็น และใช้ปั๊มเพื่อลำเลียงน้ำหล่อเย็นไปยังอุปกรณ์ที่ต้องการระบายความร้อน น้ำหล่อเย็นจะดึงความร้อนในอุปกรณ์ออกไปเพื่อให้ได้ความเย็น น้ำหล่อเย็นจะถูกเติมลงในอุปกรณ์ความถี่กลางเนื่องจากมีความถี่สูงและกระแสไฟฟ้าขนาดใหญ่ เมื่อใช้เป้าหมายการสปัตเตอร์แมกนีตรอน มันจะสร้างอุณหภูมิสูงและทำให้ปืนเสียรูป ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้แจ็คเก็ตน้ำเพื่อทำให้ปืนเย็นลง การสปัตเตอร์แมกนีตรอนอาจกล่าวได้ว่าเป็นหนึ่งในความสำเร็จที่โดดเด่นที่สุดในเทคโนโลยีการเคลือบ ข้อดีของมันคือแรงยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับพื้นผิวที่ดี อัตราการสปัตเตอร์สูง อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นของพื้นผิวต่ำ และความเสถียรของอุปกรณ์ที่ดี เครื่องทำความเย็นมีระบบหมุนเวียนน้ำอิสระและระบบทำความเย็นอิสระซึ่งไม่ได้รับผลกระทบจากสภาพแวดล้อมภายนอก คุณสมบัติเหล่านี้ร่วมกันให้การควบคุมอุณหภูมิที่เชื่อถือได้และผลลัพธ์การเคลือบคุณภาพสูงสำหรับกระบวนการเคลือบไอออนสุญญากาศ
ฟังก์ชั่นและคุณลักษณะของเครื่องทำความเย็นในเครื่องเคลือบไอออนสุญญากาศประกอบด้วย:
1. การทำความเย็นเป้าหมาย: เป้าหมายในเครื่องเคลือบไอออนสุญญากาศใช้เพื่อสร้างไอออนของโลหะ แต่จะสร้างความร้อนได้มากในระหว่างกระบวนการเคลือบ เครื่องทำความเย็นจะทำให้เป้าหมายเย็นลงอย่างรวดเร็วผ่านระบบระบายความร้อนแบบหมุนเวียนเพื่อรักษาอุณหภูมิการทำงานปกติของเป้าหมาย ป้องกันไม่ให้อุปกรณ์ร้อนเกินไปจนทำให้เกิดความเสียหายหรือลดคุณภาพของการเคลือบ และรับประกันการปล่อยไอออนที่เสถียร
2.การควบคุมเสถียรภาพ: Theเครื่องทำความเย็นสามารถควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์ได้อย่างเสถียรเพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์ทำงานได้อย่างเสถียรภายในช่วงอุณหภูมิการทำงานปกติ ซึ่งช่วยรักษาความสม่ำเสมอและความเสถียรของการเคลือบ ปรับปรุงความสม่ำเสมอและความน่าเชื่อถือของคุณภาพการเคลือบ
3. การปรับความแม่นยำสูง: พารามิเตอร์การทำงานของเครื่องทำความเย็นสามารถปรับได้ตามความต้องการเฉพาะ รวมถึงอุณหภูมิของน้ำหล่อเย็น การไหล และความดัน ช่วยให้เครื่องทำความเย็นสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำตามความต้องการในการเคลือบที่แตกต่างกัน ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและคุณภาพสูงของกระบวนการเคลือบ
3. การประหยัดพลังงาน: ความสามารถในการทำความเย็นที่มีประสิทธิภาพสูงและฟังก์ชั่นการควบคุมที่แม่นยำของเครื่องทำความเย็นช่วยลดการใช้พลังงาน ด้วยการควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์อย่างมีประสิทธิภาพ จะช่วยลดการสูญเสียพลังงานเพิ่มเติมและปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้พลังงานได้
5. ประสิทธิภาพการปกป้องสิ่งแวดล้อม: การใช้เครื่องทำความเย็นในเครื่องเคลือบไอออนสูญญากาศสามารถลดผลกระทบด้านลบต่อสิ่งแวดล้อมได้ ใช้น้ำหมุนเวียนเพื่อระบายความร้อน ลดการใช้น้ำ และลดเสียงรบกวนและการสั่นสะเทือนระหว่างการทำงาน
6. การควบคุมสิ่งแวดล้อม: การใช้เครื่องทำความเย็นในเครื่องเคลือบไอออนสูญญากาศยังสามารถควบคุมอุณหภูมิและความชื้นโดยรอบเพื่อให้มีสภาพแวดล้อมการทำงานที่ดี อุณหภูมิและความชื้นโดยรอบที่เหมาะสมสามารถเพิ่มระดับสุญญากาศ ลดผลกระทบของสิ่งสกปรกและก๊าซ และปรับปรุงคุณภาพของการเคลือบ
โดยสรุปการประยุกต์ใช้ของชิลเลอร์ในเครื่องเคลือบไอออนสุญญากาศครอบคลุมหลายด้าน เช่น เป้าหมายการทำความเย็น พื้นผิวการทำความเย็น อุปกรณ์ทำความเย็น และการควบคุมสิ่งแวดล้อม ทำให้มั่นใจในการควบคุมอุณหภูมิของอุปกรณ์และชิ้นงานในระหว่างกระบวนการเคลือบ การปรับปรุงคุณภาพการเคลือบและประสิทธิภาพการผลิต